El 30 de julio, la primera máquina de producción de pulverización catódica magnetrónica óptica de precisión de 12 pulgadas Star600-EOSS, desarrollada de forma independiente por Jiangsu Xiantao Microelectronics, completó el ensamblaje y la puesta en marcha en la base de producción del Parque de Alta Tecnología de Xuzhou, Jiangsu, superó con éxito la verificación de automatización y proceso, y se entregó oficialmente a una fábrica de obleas líder en China. El envío exitoso de esta primera máquina marca un avance importante de la empresa en el campo de los equipos de recubrimiento óptico de obleas de alta gama, desde la investigación y el desarrollo, la fabricación hasta la entrega industrializada, impulsando aún más el proceso de localización de este equipo.
La tecnología avanzada mundial de recubrimiento óptico de obleas se materializa en China
La Star600-EOSS es un equipo de pulverización catódica magnetrónica óptica de precisión de oblea de alta gama desarrollado sobre la base de las capacidades tecnológicas existentes del grupo. A través de las patentes principales del grupo, la base de datos de procesos y el sistema de diseño de máquinas completas, Jiangsu Xiantao logró con éxito la implementación de ingeniería de tecnología avanzada internacional, y completó la optimización de adaptación de procesos con sus propias capacidades de I+D, proporcionando un sólido soporte de equipos para la fabricación de películas ópticas de alta gama.
Múltiples ventajas tecnológicas clave para satisfacer las necesidades de fabricación de alta precisión de obleas de 12 pulgadas
La Star600-EOSS está diseñada específicamente para el recubrimiento óptico de obleas de 12 pulgadas y ofrece múltiples ventajas en torno a los requisitos principales del proceso de deposición de películas. El equipo adopta una estructura de pulverización ascendente (Sputter-up) con cátodos rotatorios gemelos, lo que reduce la generación de partículas a nivel físico y mejora la estabilidad del proceso. El equipo admite el procesamiento de obleas completas de 12 pulgadas, con una uniformidad de espesor dentro de la oblea de ≤±0.3% y una estabilidad de proceso entre obleas dentro del 0.3%, y puede adaptarse perfectamente a la producción en masa de películas ópticas de precisión como filtros de corte infrarrojo, recubrimientos antirreflectantes (AR), películas dieléctricas de guías de onda ópticas, y filtros de banda estrecha de más de 100 capas, con excelente rendimiento del producto, sin desplazamiento de longitud de onda y rendimiento estable. Además, el equipo integra un sistema de monitoreo en línea espectroscópico in situ de banda ancha que corrige en tiempo real el espesor de la película depositada en un circuito cerrado. En cuanto a la automatización, incluye de serie un módulo frontal EFEM, compatible con los contenedores de obleas FOUP estándar de 12 pulgadas de la industria, logrando una transferencia automática de contenedor a contenedor mediante un brazo robótico de succión al vacío, y admite la interconexión con el sistema MES de fábrica SECS/GEM, satisfaciendo la producción continua no tripulada 7×24 horas. El equipo adopta un diseño de proceso modular, equipado con unidades de cátodo magnetrónico independientes de múltiples estaciones, que permiten cambiar libremente entre múltiples materiales de blanco, y ofrece opciones de fuente de iones, pretratamiento in situ por plasma y plataforma de control de temperatura criogénica, satisfaciendo tanto la flexibilidad de preparación de muestras de I+D como la estabilidad de producción en masa a gran escala.
Construcción de una capacidad de solución integrada de colaboración entre materiales y equipos
A diferencia de los fabricantes de equipos individuales, Jiangsu Xiantao, basándose en las ventajas de la cadena industrial completa de su empresa matriz, Xiantao Technology Group, ha formado una competitividad central verticalmente integrada de "materiales de blanco de alta pureza - máquinas completas de equipos de recubrimiento - desarrollo de procesos de películas". En el campo de las aplicaciones de películas ópticas, la empresa combina los recursos de blancos ópticos de alta pureza del grupo, como indio, tantalio, titanio y silicio, y puede completar simultáneamente la adaptación de blancos y el desarrollo de fórmulas de proceso según las necesidades del producto del cliente, proporcionando soluciones de recubrimiento personalizadas de ventanilla única. El envío exitoso de este equipo es un logro importante en la promoción continua de la I+D independiente de equipos principales y su aplicación industrial. En el futuro, la empresa continuará centrándose en la innovación tecnológica de deposición de películas avanzadas, impulsando aún más el desarrollo de alta calidad de la óptica de precisión, la óptica de oblea y la industria de semiconductores.