es.wedoany.com Noticia: El grupo Element ha iniciado los trabajos de preparación de la infraestructura para el primer equipo industrial ruso de metalización de aluminio por deposición al vacío. El proyecto incluye la construcción de una sala limpia especializada y sistemas de ingeniería integrales que cumplan con los requisitos de la producción microelectrónica.
El diseño de la sala limpia estará a cargo de la empresa "Soluciones de Sistemas", con un contrato valorado en 21 millones de rublos. Dicha empresa resultó ganadora en la licitación del Instituto de Electrónica Molecular (НИИМЭ). El centro de pruebas se construirá en Zelenogrado, con una superficie aproximada de 350 metros cuadrados. El Ministerio de Industria y Comercio de Rusia ha asignado fondos por separado para el desarrollo del equipo, con una inversión prevista de unos 2 mil millones de rublos en 2026.
El objetivo del proyecto es fabricar equipos de sustitución nacional para reemplazar los productos de Applied Materials y Evatec. El nuevo equipo se utilizará para producir chips en obleas de 200 mm con procesos de 180 a 90 nanómetros, permitiendo depositar capas de aluminio, titanio y nitruro de titanio sin depender de sistemas extranjeros, para formar rutas conductoras y recubrimientos protectores.
Debido a los estrictos requisitos del equipo en cuanto al entorno controlado, el proyecto contempla varias zonas independientes, incluyendo el área de deposición de metalización, la unidad de medición y los cuartos de sistemas de ingeniería. El área principal debe alcanzar un nivel de limpieza ISO 6, mientras que las áreas auxiliares serán de nivel ISO 8.
Dentro de la sala limpia se deben mantener parámetros estrictos: filtración de aire hasta partículas de 0,3 micras, temperatura controlada a 22±2 °C, humedad de aproximadamente el 50%, y vibraciones que no superen los 6 micrómetros por segundo. Además, se requiere un sistema de alimentación de respaldo, suministro de gases de ultra alta pureza, sistema de refrigeración, control de interferencias electromagnéticas e instalaciones de monitoreo continuo de parámetros ambientales.
Fuentes del sector señalan que la construcción de salas limpias es una de las tareas más complejas y costosas en el ámbito de la microelectrónica rusa. Tras las restricciones en el suministro occidental, algunos equipos y componentes de estos sistemas aún deben adquirirse en el extranjero, principalmente de China.
Este proyecto de sala limpia forma parte del desarrollo de un equipo de deposición al vacío de ocho módulos, equipado con dos manipuladores robóticos para el procesamiento de obleas de silicio. Se prevé que la fabricación del equipo esté completada antes de finales de septiembre de 2030.
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