es.wedoany.com Noticia: El 19 de julio, el Grupo Binzhou Chemical puso en producción gas de fluoruro de hidrógeno de alta pureza de grado electrónico en el marco del proyecto Beikun y lanzó nuevos productos. El Grupo Binzhou Chemical logró avances tecnológicos en cuatro eslabones: proceso, ingeniería, detección y llenado, formando un control cerrado desde la preparación hasta el envasado. Su producto de fluoruro de hidrógeno de alta pureza para semiconductores alcanza un nivel de pureza 6N (99,9999%), situándose en un nivel de clase mundial.
El fluoruro de hidrógeno de alta pureza se conoce como la "sangre" de la fabricación de semiconductores, siendo un material insustituible en la limpieza, el grabado y el mantenimiento de cámaras, y su pureza determina directamente el rendimiento de las obleas. El fluoruro de hidrógeno de alta pureza de grado 6N es esencial para procesos avanzados de 28 nanómetros y menores, y China ha dependido durante mucho tiempo de las importaciones, con empresas extranjeras monopolizando aproximadamente el 80% del mercado mundial de fluoruro de hidrógeno de alta pureza de grado 6N.
El fluoruro de hidrógeno de grado semiconductor requiere una pureza superior al 99,999% (5N). Pasar de 5N a 6N no implica simplemente una purificación adicional, sino que requiere un sistema de purificación completamente nuevo. Según Liu Teng, gerente general de la División de Productos Químicos Especiales del Grupo Binzhou Chemical, la clave para alcanzar la pureza 6N es eliminar las impurezas miscibles como trazas de agua, dióxido de carbono y compuestos orgánicos oxigenados en el fluoruro de hidrógeno. El Grupo Binzhou Chemical diseñó un sistema de acoplamiento de múltiples destilaciones en la sección de destilación, optimizando los componentes internos de la columna y las ventanas de operación para lograr una eliminación profunda de impurezas de carbono y oxígeno bajo un gradiente de presión específico, controlando así las impurezas clave de carbono y oxígeno desde su origen. Al mismo tiempo, para abordar el problema de que el análisis de dióxido de carbono es susceptible a interferencias ambientales, el Grupo Binzhou Chemical desarrolló de forma independiente un sistema de muestreo cerrado y preciso, así como un esquema de análisis de alta sensibilidad, minimizando la interferencia del fondo ambiental durante el proceso de muestreo, asegurando que los datos analíticos reflejen fielmente la calidad del producto y garantizando la estabilidad y fiabilidad del índice 6N.
El avance hacia 6N es el resultado de una investigación tecnológica sistemática en cuatro aspectos: proceso, ingeniería, detección y llenado. En el ámbito de la ingeniería, el Grupo Binzhou Chemical superó el control de la precipitación de impurezas en la selección de materiales y la tecnología de circulación del campo de flujo, asegurando que el proceso de preparación esté libre de contaminación. En el ámbito del llenado, se logró un avance en la protección del pretratamiento de los cilindros y la tecnología de eliminación de impurezas por desplazamiento, controlando el último paso antes de que el producto salga de fábrica. Estas cuatro áreas tecnológicas forman un circuito cerrado, manteniendo la calidad del producto estable en el nivel 6N, alcanzando un estándar internacional de primer nivel.
Actualmente, el precio de mercado del fluoruro de hidrógeno de alta pureza de grado 6N supera los 2 millones de yuanes por tonelada. El Grupo Binzhou Chemical ha completado la construcción y puesta en marcha de una línea de llenado de cilindros de fluoruro de hidrógeno de alta pureza con una capacidad anual de 50 toneladas, ha obtenido la licencia de llenado de cilindros de gas emitida por el Instituto de Inspección Especial de la Provincia de Shandong, cuenta con todos los procedimientos completos de producción, llenado y venta, y ha comenzado a presentar sus productos a clientes clave tanto nacionales como internacionales.
